静压差：洁净室与周围的空间必须维持一定的压差, 不同等级的洁净室之间的压差不宜小于5Pa,洁净区与非洁净区之间的压差不应小于5Pa,洁净室与室外的压差不应小于10Pa。压差是保证洁净室(区) 及相关

受控环境防止污染和交叉污染，排除外界污染影响的重要措施和手段。检测时要求关闭所有门窗和隔断，由高压向低压，由平面布置上距室外最远(最内部)的房间开始，依次向外测定。测量点应设在洁净室

中央，远离可能影响测点局部压力的送回风口。

已装过滤系统检漏：此项检测用于验证过滤系统不存在影响设施洁净状况的渗漏。检漏方法通常有两种: -种是气溶胶光度计检漏法;另-种是尘埃粒子计数器(OPC) 检漏法。检漏包括滤材、过滤边框和支撑架等在内的整

个过滤系统。检测时，在过滤器的上风向注入气溶胶,在下风向紧靠过滤器的安装框架的地方扫描，或在风管中的过滤器下风向采样。

(1)气溶胶光度计检漏法

(1 )进行已装过滤器检漏前，应完成风速合格性检测。

(2)检测时，需在过滤器的上风向注入特殊材质的气溶胶样品。DOP (邻苯二甲酸二辛酯)是最早使用的一种气溶胶样品，距今已有50年历史，但由于其致癌作用，逐渐被PAO (聚a烯烃)取代9]。PAO

属于四类合成基础油，它是最常用的合成润滑油基础油，具有良好的黏温性能和低温流动性。目前，制药工业已完全采用PAO-4 (运动黏度4mm2/s)，同时也是国际通用气溶胶光度计测试的气溶胶样品，发

生浓度为(10~ 100) μg/L, 浓度低于20μg/L时检漏的灵敏度欠佳，高于80μg/L时，浓度过高会污染过滤器。

5

(3)按规定的扫描速度移动采样头往复扫描，采样速度为cm/s 。采样头距过滤器出风面和框架结构约3cm,应扫遍过滤器的整个出风面、过滤器周边、边框与安装构架之间的密封处及安装构架的结合

点

(4)当气溶胶光度计下游显示读数超过0.01%时，持续停留测量一段时间， 选取最大读数位置判定为泄露位置10]。

(2)尘埃粒子计数器检漏法

尘埃粒子计数器检漏法通常用于设施不允许有油基挥发性检测气溶胶，或推荐使用固体气溶胶的场合。电子I业常用该方法进行过滤器检漏。

(1 )检测时需在过滤器的上风向注入特殊材质的气溶胶样品，可选用PSL标准物质， 数量中值粒径为(0.1~0.5) μm。

(2)检测时，在过滤器的洁净侧扫描，扫描速度保持5cm/s,发现计数多于采样时间内可接受的观测计数时，可能存在渗漏。采样头移至计数最大的地方，复测计数多于静止时间内合格的观测计数,则表明渗漏。

5.温湿度

温度检测分为一般温度检测和严格温度检测。-般检测适用于空态设施的初步检测，严格检测适用于静态、动态下或温度性能要求严格的区域。一般检测在 气流均匀性检测之后和空调系统调整之后进行,

每个温控区至少设置一个温度测定点， 传感器在指定位置的工作高度，测量时间不少于5min, 每分钟至少记录-个读数。湿度检测应与温度检测同时进行，同样每个湿度控制区至少设置-个湿度测定点， 测量

时间不少于5min，每分钟至少记录1个读数。严格温度检测应符合以下规定:

(1)检测时需要把工作区分出等面积网格,每格最大面积应为100m2,应每格一个测点， 每个房间不得少于两个测量点。

(2)传感器应在指定位置的工作高度，距洁净室(区)的顶棚、墙和地面不应少于300mm,并应考虑室内存在的热源影响。

(3)测量时间不少于5min,每分钟至少记录1个读数。

6.噪声

IS014644. 4-2010标准中规定，应依据洁净室内人的舒适和安全要求及环境(如其他设备)的背景声压级来选择适宜的声级计。洁净室的声压级范围为(40 ~ 65)dB(A)。测试方法为测点距地面高1.1m,

面积在15m2以下的洁净室，可只测室中心1点，15m2以上的除中心一点外，再测对角4点，距侧墙各1m,测点朝向各角。当为混合流洁净室时，应分别测定单向流区域和非单向流区域的噪声，测试结果应满

足:非单向流洁净室不应大于60dB(A)，单向流混合流不应大于65dB(A)。

7.照度

室内照度必须在室温趋于稳定后进行，并且荧光灯已有100小时以上的使用期，检测前已点燃15分钟以上;白炽灯已有10小时以上的使用期，检测前已点燃5分钟以上。测点距地面高0 8m,按1m ~ 2m间

距布点，30m2以内的房间测点距墙面0 .5m,超过30m?的房间，测点离墙1m.