在高校的微电子、半导体物理实验中,光刻实验是必不可少的实验之一。光刻实验对环境的洁净度要求很高,一般高校在没有财力建设洁净室的情况下,净化工作台成为了进行光刻实验不可缺钞少的公要设备。一般来说光刻实验进行的步骤有∶旋涂光刻胶;光刻胶的前烘;曝光,显影;后烘等步骤构成。在这些实验步骤中所涉及的化学药品较多,而这些化学药品的溶剂多为苯类披质,如果处理不当将给实验人员带来较大的伤害。同时,由于实验的步骤较多,实验人员需要频絜地从净化工作台中取、放物品,这将引入大量的灰尘影响工作时的洁净度。因此,设计一种低成本,有效租隔有毒气体,提高工作时洁净度的净化工作台显得十分重要。