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微电子光刻实验净化工作台设计,使用水平层流净化工作台用于光电子行业

[导读]苏州净化SW-CJ-1CU双人单面净化工作台:洁净等级:100级@≥0.5μm;菌落数:≤0.5个/皿.时;平均风速:0.25~0.45m/s;最大功率:800W;重量:400kg;适用人数:双人单面 水平送风;工作区尺寸:1770×500×600mm;外形尺寸:1820×745×1570mm,,净化工作台是一种创造局部100级无尘、无菌环境的理想设备。

在高校的微电子、半导体物理实验中,光刻实验是必不可少的实验之一。光刻实验对环境的洁净度要求很高,一般高校在没有财力建设洁净室的情况下,净化工作台成为了进行光刻实验不可缺钞少的公要设备。一般来说光刻实验进行的步骤有∶旋涂光刻胶;光刻胶的前烘;曝光,显影;后烘等步骤构成。在这些实验步骤中所涉及的化学药品较多,而这些化学药品的溶剂多为苯类披质,如果处理不当将给实验人员带来较大的伤害。同时,由于实验的步骤较多,实验人员需要频絜地从净化工作台中取、放物品,这将引入大量的灰尘影响工作时的洁净度。因此,设计一种低成本,有效租隔有毒气体,提高工作时洁净度的净化工作台显得十分重要。


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