ULPA是指使用与HEPA过滤器类似的制造技术但具有不同性能标准的空气过滤器。像HEPA标准一样，ULPA标准的定义也有所不同。标准NSF / ANSI 49指定使用F型和K型ULPA滤波器。根据测试方法IEST-RP-CC001，它是F型ULPA过滤器，**除去0.1微米至0.2微米之间或0.2微米至0.3微米之间的99.999％的污染物。K型ULPA过滤器**去除0.1-0.2微米或0.2-0.3微米的99.995％的颗粒。与HEPA过滤器一样，ULPA过滤器可以去除大于和小于测试尺寸的颗粒。该规范设定了**低效率，这意味着与HEPA过滤器相比，ULPA过滤器从空气中去除的材料更多。在EN1822-1下，**小MPPS为0。ULPA过滤器通常比HEPA过滤器贵35％。HEPA过滤器的平均使用寿命为10年，而ULPA过滤器的使用寿命通常为5至8年。与HEPA过滤器相比，ULPA过滤器平均通过的空气也要少20％至50％。要使相同体积的空气通过相同尺寸的ULPA过滤器，将比使用HEPA过滤器所需的力大得多。表面积较大或厚度较大的过滤器会增加可以通过的空气量，但会增加BSC的尺寸。
